NIL納米壓印技術在生物醫療領域的應用

在過去的幾十年中，生物技術器件的小型化極大地改善了臨床診斷，藥物研究和分析化學。現代生物技術器件——如用于診斷、細胞分析和藥物發現的生物醫學MEMS (bioMEMS)——通常是基于芯片的，依賴于微米級和納米級生物物質的密切相互作用。根據市場研究和策略咨詢公司YoleDéveloppement的報告，越來越多的醫療保健應用正在使用bioMEMS組件，而bioMEMS市場預計將從2015年的27億美元增長至2021年的76億美元，增長近三倍。到2021年，微流控器件將占生物醫學MEMS市場總量的86%，主要應用領域包括即時檢測、臨床和獸醫診斷、制藥和生命科學研究以及藥物輸送。

在高門檻、嚴監管且快速增長的市場環境下，精確且高性價比的微結構化技術對于這一類產品的成功商業化至關重要。傳統的工藝方法（例如注塑成型）通常無法生產出極小的結構和表面圖案，而這些要求苛刻的應用對于精度、質量和可重復性的要求越來越高，或是需要在工藝開發方面投入大量精力。與此同時，為了實現規模效應，解決方案需要從離散的器件生產擴展到在單個基板上批量處理多個器件。

NIL納米壓印技術已經從一項小眾技術發展成為強大的大批量制造方法，通過壓印進入生物相容性光刻膠或直接進入散裝材料，能夠大規模生產多種不同尺寸和形狀的結構——例如高度復雜的微流體通道和表面圖案。除了結構技術外，密封和封裝是建立受限微流體通道的核心過程。因此，不同器件層、覆蓋層或互連層的鍵合是一項關鍵工藝，可與NIL一道實現經濟高效的大面積批量工藝。作為NIL和晶圓鍵合的先驅以及市場和技術領導zhe，EVG的NIL納米壓印技術解決方案可以在生物技術應用中使用的各種基板材料上制造各種小型結構（從數百微米到二十納米），包括玻璃，硅和多種聚合物（例如，COC，COP，PMMA和PS）。每個EVG NIL解決方案適合不同的生產應用場景。例如，熱壓印可精確印制較大的結構以及微米結構和納米結構的組合，并且在復制高縱橫比的特征或使用非常薄的基板時表現優異。UV-NIL可在納米范圍內提供jigao的精度、圖案保真度和產量。微接觸印刷是另一種NIL選項，它可以將生物分子等材料以dute的模式轉移到基材上。

憑借其成熟的晶圓級鍵合設備，EVG還可提供與NIL納米壓印結構技術相匹配的封裝和鍵合工藝。從先進的室溫鍵合技術到等離子活化鍵合，乃至高品質的氣密和真空封裝，不一而足。典型的解決方案包括用于玻璃和聚合物基板的EVG熱鍵合設備，通過在大范圍內實現高壓和溫度均勻性，效果十分理想。EVG還提供了室溫選擇性粘合劑轉移技術，可在器件封裝之前簡化生物分子的摻入。

EVG業務發展總監Thomas Uhrmann博士說：“EVG在為生物醫學研發提供產品和解決方案方面有著悠久的歷史，早在15年前，EVG就為新興的生物醫學和微流體研究應用安裝了第一個熱壓印系統。"“ EVG在這一領域積累的知識，加上我們在其他市場將創新技術投入批量生產的經驗，使我們能夠很好地為生物醫學行業提供成熟的大批量制造工藝和服務，以支持下一代生物技術器件的生產。"

除設備和工藝解決方案外，EVG還通過其位于奧地利的公司總部及其北美和日本子公司的潔凈室設施，為客戶提供開發和中試生產服務。